Tha an WF6 air a chleachdadh sa mhòr-chuid mar stuth amh airson pròiseas tasgadh smùid ceimigeach (CVD) tungsten meatailt ann an gnìomhachas an eileagtronaig. Faodar WSi2 air a dhèanamh à WF6 a chleachdadh mar stuth uèiridh ann an cuairtean amalaichte mòra (LSI), agus faodar a chleachdadh cuideachd mar stuth amh airson electrodan leth-chonnsachaidh, fluorine. Stuthan amh airson riochdairean ceimigeach, catalaichean poileimearachaidh, stuthan optigeach, msaa.